Synopses & Reviews
Synopsis
Herstellung der zylindrischen Rolle aus verspannten Halbleiterheterostrukturen mit einem genau auf den zur Verf gung gestellten Wafer abgestimmten tzverfahren, sowie optische Untersuchung der Mikrorollen und Katalogisierung. bertragung der Schwingungen eines Piezokristalls auf die Mikrorollen und Schwingungsmessungen mit Hilfe eines Michelson Interferometers. Ermittlung der Eigenschwingungen der Mikrorollen durch Vergleich von Messungen auf den Rollen und auf dem Substrat. Diskussion des tzvorganges und des Aufrollprozesses anhand des verwendeten Messobjektes. Diskussion der Schwingungsmoden in Luft und im Vakuum an einer langen und einer kurzen Mikrorolle. Vergleich der theoretischen Berechnungen des Kooperationspartners mit den experimentellen Ergebnissen der Schwingungsmodenfrequenzen. Schlussfolgerungen ber die Abh ngigkeit von Eigenschwingungen und Radius bzw. L nge der zylindrischen Halbleiterobjekte.